安裝使用歐姆龍光電傳感器,omron

沖擊(耐久) 500m/s2　X、Y、Z各方向 3次
消耗電流 投、受光器：各20mA以下
連接控制器數(shù)量 2臺(tái) 測(cè)量周期(﹡1) 16ms(高精度模式)、
帶有明亮易見的入光指示燈
0～50Hz 上下振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)物體 φ5mm以上的
8ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)、5ms(高速模式)
顯示范圍 -999.99999～999.99999
不易受干擾光影響的變調(diào)光型
振動(dòng)(耐久) 200～2,000Hz (zui大加速度100m/s2)
沖擊(耐久) 500m/s2 X、Y、Z各方向 3次

機(jī)型配備了入光時(shí)ON/遮光時(shí)ON的2路輸出，可根據(jù)使用情況 僅靠配線就能夠切換輸出。

能夠從多個(gè)方向確認(rèn)指示燈，適用于各種設(shè)置 位置。

在NPN輸出型的OUT2控制輸出上，具備了采用熱敏元件切斷回路 的輸出過電流保護(hù)功能。

通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂

光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調(diào)光方式

安裝使用歐姆龍光電傳感器,omron
電源電壓 DC5V-5%～24V+10%
控制輸出 NPN開路接插件輸出
負(fù)載電流100mA以下、關(guān)機(jī)電流0.5mA以下
不透明物體 光源(zui大發(fā)光波長(zhǎng)) GaAs
紅外發(fā)光二管(脈沖燈亮)(940nm)
指示燈 *1 入光時(shí)亮燈(紅色)
便于配線、維護(hù)的接插件方式
保護(hù)結(jié)構(gòu) IEC規(guī)格 IP50 振動(dòng)(耐久)
電源電壓為DC5～24V的廣范圍
上下振幅1.5mm X、Y、Z各方向2h (4min周期)
連接傳感器探頭數(shù)量 1臺(tái)/控制器
保護(hù)結(jié)構(gòu) IEC規(guī)格 IP60 連接方式 接插件式(不可焊接)